本文研究的静电MEMS执行器由一个固定的硅电极（顶部有铝制成的金属焊盘）和一个可移动的硅微梁构成，如图1所示。执行器采用PiezoMUMPs工艺制造。在制造过程中，微梁下方的衬底被完全蚀刻。

公允价值分析被证明是有先见之明的，ONTO的股价表现强劲，在接下来的几个月内带来了41.69%的回报。这一走势得到了令人印象深刻的基本面增长支持，最近一个季度收入扩大至$987.3百万，EBITDA达到$249.4百万。公司的每股收益从$2.83增长到$4.09，验证了InvestingPro的初步评估。