微机电系统(MEMS)也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。MEMS传感器是MEMS技术的一个应用，它们是利用微电子和微机械加工技术制造出来的 ...

据麦姆斯咨询获悉，2024年12月31日，苏州矽劼微电子有限公司（简称：矽劼微电子）正式发布离心式MEMS雾化芯片。作为雾化装置的核心器件，雾化芯片一直是决定雾化性能的关键部件。而离心式雾化芯片因其效率高、颗粒均匀、适用范围广的特点，在医疗、家居 ...