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一点资讯 on MSN好消息!中科院成功研发全固态DUV光源技术!!3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent ...
据国际光电工程学会报道,中国科学院研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),该波长目前被用于半导体曝光技术。
据国际光电工程学会( SPIE )报道,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),该波长目前被用于半导体曝光技术。
3月24日消息,中国科学院(CAS ... 目前,全球主要的DUV光刻机制造商如ASML、Canon和Nikon,均采用氟化氩(ArF)准分子激光技术。 这种技术通过氩 ...
全球专业信息服务提供商科睿唯安 (Clarivate)发布《2025全球创新百强》 (Top 100 Global Innovators 2024)报告。报告依据发明专利数量、质量、成果影响力、全球化保护等指标,遴选出2025年度全球创新百强。三星电子、腾讯、本田名列前三位。
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